ما هو الرش بالموجات فوق الصوتية؟

الرش بالموجات فوق الصوتية ، والمعروفة أيضًا باسم الرش بالموجات فوق الصوتية ، هي عملية رش تستخدم تقنية ذرات الموجات فوق الصوتية. المواد المراد رشها هي الأولى في حالة سائلة. يمكن أن يكون السائل حلاً ، SOL ، التعليق ، إلخ ، وبالتالي تشكيل طلاء أو فيلم. الفرق الأكبر بين الرش بالموجات فوق الصوتية والفردية التقليدية - الرش في السوائل هو أن الجهاز المرسى أو فوهة الذرة يستخدم جهازًا ذاتيًا بالموجات فوق الصوتية ، أي فوهة بالموجات فوق الصوتية.

بالمقارنة مع الرش التقليديين - السوائل ، فإن الرش بالموجات فوق الصوتية له مزايا توحيد الطلاء العالي ، واستخدام المواد الخام عالية ، ودقة التحكم في سماكة الطلاء عالية ، وسمك الطلاء الأرق ، وترشيش أقل ، لا يوجد انسداد فوهة ، وتكاليف الصيانة المنخفضة. بالمقارنة مع عمليات الطلاء مثل تبخر الفراغ و CVD ، فإن الرش بالموجات فوق الصوتية هو عملية طبقة أفلام رقيقة أكثر اقتصادا. خاصة في إعداد الأفلام الرقيقة الأكبر - المنطقة الرقيقة ، تكون تكلفة الرش بالموجات فوق الصوتية أقل من تكلفة معدات الطلاء الفراغية.
المزايا الرئيسية للرش بالموجات فوق الصوتية هي:
1. التوحيد العالي للطلاء
إن توحيد توزيع الجسيمات السائلة بعد الانحلال بواسطة الفتحات بالموجات فوق الصوتية أعلى بكثير من تلك الموجودة في فوهات السوائل ، والمعروفة باسم بنادق رذاذ الهواء ، لذلك تم تحسين توحيد الطلاء بعد الرش بالفتحات بالموجات فوق الصوتية. عادة ، يمكن أن يصل توحيد طلاء الرش بالموجات فوق الصوتية إلى أكثر من 95 ٪.
2. معدل الاستخدام المرتفع للمواد الخام وأقل رشا
نظرًا لأن الرش بالموجات فوق الصوتية عبارة عن ذرة سائلة من خلال التذبذب بالموجات فوق الصوتية ، فإن عملية ترسل الطلاء لا تتطلب أي غاز ، أي أن عملية الانحلال لا تتطلب ضغطًا. يتم تطبيق ضغط غاز الناقل المنخفض للغاية بعد الانحدار لنقل الضباب السائل. لذلك ، فإنه يقلل إلى حد كبير من الارتداد السائل والبلاغ الناجم عن رش هواء الضغط المرتفع في السائل الثاني ، وبالتالي تحسين معدل استخدام الطلاء بشكل كبير. معدل استخدام المواد الخام للرش بالموجات فوق الصوتية هو أكثر من 4 أضعاف معدل رش الهواء العادي ، ويمكن أن يصل معدل الاستخدام إلى أكثر من 90 ٪.
3. دقة التحكم في سمك الطلاء العالي
العامل الرئيسي الذي يؤثر على دقة سمك الطلاء هو معدل تدفق الرش للطلاء ، وهو كمية المواد المحملة على الركيزة لكل وحدة زمنية. الفوهة بالموجات فوق الصوتية ليس لها تأثير ضغط على السائل ، وبالتالي يمكن التحكم في معدل تدفق سائل الطلاء الرش الذري بالكامل بواسطة مضخة القياس المرتفعة - الدقة ، وبالتالي تحقيق التحكم في تدفق الرش الدقيق. على سبيل المثال ، يمكن أن تصل دقة التحكم في التدفق لمضخة حقنة مرتفعة - الدقة إلى مستوى البيكوليتر في الثانية ، ويمكن أن يحقق تصميم قناة الفوهة بالموجات فوق الصوتية الدقة الشاملة للسيطرة النانوية في الثانية.
4. سمك الطلاء رفيع ، حيث يصل إلى عشرات النانومتر
نظرًا لأن حجم الرذاذ للفوهة بالموجات فوق الصوتية يمكن أن يحقق معدل تدفق مستقر منخفض للغاية (0.001 مل/دقيقة) ، يمكن تحقيق كمية صغيرة جدًا من التحميل على الركيزة ، وبالتالي تحقيق فيلم جاف رقيق للغاية. بالنسبة لبعض المواد النانوية ، يمكن أن يكون سمك الفيلم الجاف منخفضًا مثل عشرات النانومتر. يمكن استخدامه لإعداد الأفلام الزجاجية مثل الأفلام الموصلة الشفافة ، وأفلام الانعكاس ، والأفلام العازلة الحرارية ، والأفلام المحببة والماء.