innováció.
1. Az ultrahangos indium bevonási technológia alapelvei
Az ultrahangos indium bevonógép magja az ultrahangos vibrációs rendszer és a precíziós folyadékvezérlés kombinációjában rejlik. Munkafolyamata a következő kulcsfontosságú lépésekre osztható:
(1) ultrahangos kavitációs hatás (kavitáció)
Az ultrahangos generátor (általában 20 kHz -es frekvenciájú) az elektromos energiát nagy - frekvenciájú mechanikus rezgéské alakítja, és továbbítja az indium bevonat fúvóka vagy a szubsztrát felületére az átalakítón keresztül.
A nagy - frekvenciájú rezgés a folyadék indiumot kavitációs buborékok előállításához vezet. Amikor a buborékok azonnal összeomlanak, hatalmas energiát bocsátanak ki, megszakítják az indium folyadék felületi feszültségét, megkönnyítve a szubsztrát nedvesítését, és elkerülve a "zsugorodást" vagy az "agglomeráció" jelenségét a hagyományos bevonatban.
(2) Mikron - szintű porlasztó spray
Az ultrahangos rezgés hatására az indium folyadékot a mikron szintű egyenletes cseppekké (1 ~ 50 μm) porlasztják, és a szubsztrát felületére egy precíziós fúvóka révén permetezik.
A hagyományos permetezéshez képest az ultrahangos porlasztási cseppek kisebb méretűek és koncentráltabbak az eloszlásban, ezáltal csökkentve a fröccsenést és az anyaghulladékot.
(3) Dinamikus nedvesítési és kiegyenlítési szabályozás
Az ultrahangos energia csökkentheti az indium folyadék viszkozitását és fokozhatja annak folyékonyságát, lehetővé téve a bevonatnak a szubsztrát felületére történő gyors terjedését egyenletes vékony rétegbe (a vastagság 0,1 és 10 μm között szabályozható).
Egyes berendezések integrálják az infravörös fűtést vagy a vákuumkörnyezetet a buborékok kiküszöbölése és a fémkohászati kötés előmozdítása érdekében az indium réteg és a szubsztrát között.
2. három kulcsfontosságú technológia a magas - precíziós egységes bevonat eléréséhez
(1) A frekvencia és az amplitúdó pontos ellenőrzése
Alacsony frekvenciájú (20 ~ 40 kHz): magas - viszkozitású indium ötvözetekhez vagy vastagabb bevonatokhoz, erős kavitációs hatással, de nagyobb cseppek méretével.
Magas frekvenciájú (60 ~ 100 kHz): Ultra - vékony bevonatokhoz (például félvezető csomagolásra), finomabb porlasztással, de nagyobb energiát igényel.
Adaptív vezérlőrendszer: Dinamikusan állítsa be az ultrahangos paramétereket, hogy biztosítsa a konzisztenciát a bevonat vastagságának (például a lézer vastagságmérője) valós -
(2) A multi - tengely mozgási platform összehangolt vezérlése
A magas - precíziós indium bevonógépek általában CNC mozgási platformokkal vagy robotkarokkal vannak felszerelve, hogy a komplex ívelt felületek (például napelemes rácsvonalak és chipsek) egyenletes lefedettségét elérjék.
Például a fotovoltaikus heterojunction (HJT) sejtekben az ultrahangos indium bevonat pontosan kitölti a mikron - szintű elektróda mintákat a rövidzárlati kockázatok elkerülése érdekében.
(3) Környezet és anyagi optimalizálás
Inert gázvédelem: megakadályozza az indium oxidációját (különösen a magas - hőmérsékleti eljárások esetén).
A szubsztrát előkezelése: Növelje a felületi energiát és fokozza az indiumréteg adhézióját plazmakisztítás vagy kémiai aktiválás révén.
3. Tipikus alkalmazási forgatókönyvek
Fotovoltaikus ipar: HJT akkumulátor -elektróda -indium bevonat a fotoelektromos átalakítás hatékonyságának javítása érdekében.
Félvezető csomagolás: Alacsony - Hőmérsékleti hiba - A chip összekötő párnák szabad indium bevonása.
Repülőgép: A nagy - megbízhatósági indium bevonást használják műholdas termikus interfész anyagokhoz (TIM).