புதுமை.
1. மீயொலி இண்டியம் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் அடிப்படைக் கொள்கைகள்
மீயொலி இண்டியம் பூச்சு இயந்திரத்தின் மையமானது மீயொலி அதிர்வு அமைப்பு மற்றும் துல்லியமான திரவக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் கலவையில் உள்ளது. அதன் பணிப்பாய்வு பின்வரும் முக்கிய படிகளாக பிரிக்கப்படலாம்:
(1) மீயொலி குழிவுறுதல் விளைவு (குழிவுறுதல்)
மீயொலி ஜெனரேட்டர் (வழக்கமாக 20kHz k 100kHz அதிர்வெண்ணுடன்) மின் ஆற்றலை உயர் - அதிர்வெண் இயந்திர அதிர்வுகளாக மாற்றி, டிரான்ஸ்யூசர் மூலம் இண்டியம் பூச்சு முனை அல்லது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புக்கு கடத்துகிறது.
உயர் - அதிர்வெண் அதிர்வு திரவ இண்டியம் குழிவுறுதல் குமிழ்களை உருவாக்குகிறது. குமிழ்கள் உடனடியாக வீழ்ச்சியடையும் போது, அவை பெரிய ஆற்றலை வெளியிடுகின்றன, இண்டியம் திரவத்தின் மேற்பரப்பு பதற்றத்தை உடைத்து, அடி மூலக்கூறை ஈரமாக்குவதை எளிதாக்குகின்றன மற்றும் பாரம்பரிய பூச்சுகளில் "சுருக்கம்" அல்லது "திரட்டல்" நிகழ்வைத் தவிர்க்கிறது.
(2) மைக்ரான் - நிலை அணுசக்தி தெளிப்பு
மீயொலி அதிர்வுகளின் செயல்பாட்டின் கீழ், இண்டியம் திரவம் மைக்ரான் மட்டத்தின் (1 ~ 50μm) சீரான நீர்த்துளிகளாக அணுக்கப்பட்டு, ஒரு துல்லியமான முனை மூலம் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் தெளிக்கப்படுகிறது.
பாரம்பரிய தெளிப்புடன் ஒப்பிடும்போது, மீயொலி அணுக்கருவின் நீர்த்துளிகள் அளவு சிறியவை மற்றும் விநியோகத்தில் அதிக குவிந்துள்ளன, இதன் மூலம் தெறித்தல் மற்றும் பொருள் கழிவுகளை குறைக்கிறது.
(3) டைனமிக் ஈரமான மற்றும் சமன் கட்டுப்பாடு
மீயொலி ஆற்றல் இண்டியம் திரவத்தின் பாகுத்தன்மையைக் குறைத்து அதன் திரவத்தை மேம்படுத்துகிறது, இதனால் பூச்சு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒரு சீரான மெல்லிய அடுக்கில் விரைவாக பரவ அனுமதிக்கிறது (தடிமன் 0.1 முதல் 10 μm வரை கட்டுப்படுத்தப்படலாம்).
சில உபகரணங்கள் அகச்சிவப்பு வெப்பமாக்கல் அல்லது ஒரு வெற்றிட சூழலை ஒருங்கிணைத்து குமிழ்களை மேலும் அகற்றவும், இண்டியம் லேயருக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையில் உலோகவியல் பிணைப்பை ஊக்குவிக்கின்றன.
2. உயர் அடைவதற்கான மூன்று முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள் - துல்லியமான சீரான பூச்சு
(1) அதிர்வெண் மற்றும் வீச்சுகளின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு
குறைந்த அதிர்வெண் (20 ~ 40kHz): உயர் - பாகுத்தன்மை இண்டியம் அலாய்ஸ் அல்லது தடிமனான பூச்சுகளுக்கு ஏற்றது, வலுவான குழிவுறுதல் விளைவு, ஆனால் பெரிய நீர்த்துளி அளவு.
உயர் அதிர்வெண் (60 ~ 100kHz): அல்ட்ரா - மெல்லிய பூச்சுகளுக்கு (குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் போன்றவை), சிறந்த அணுக்கருவுடன், ஆனால் அதிக ஆற்றல் உள்ளீடு தேவைப்படுகிறது.
தகவமைப்பு கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு: உண்மையான மூலம் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த மீயொலி அளவுருக்களை மாறும் வகையில் சரிசெய்யவும் - பூச்சு தடிமன் (லேசர் தடிமன் பாதை போன்றவை) நேர கண்காணிப்பு.
(2) மல்டி - அச்சு இயக்க தளத்தின் ஒருங்கிணைந்த கட்டுப்பாடு
உயர் - துல்லியமான இண்டியம் பூச்சு இயந்திரங்கள் பொதுவாக சிக்கலான வளைந்த மேற்பரப்புகளின் (சூரிய செல் கட்டம் கோடுகள் மற்றும் சிப் பேட்கள் போன்றவை) சீரான கவரேஜை அடைய சி.என்.சி இயக்க தளங்கள் அல்லது ரோபோ ஆயுதங்களுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளன.
எடுத்துக்காட்டாக, ஒளிமின்னழுத்த ஹீட்டோரோஜங்க்ஷன் (எச்.ஜே.டி) கலங்களில், மீயொலி இண்டியம் பூச்சு குறுகிய சுற்று அபாயங்களைத் தவிர்ப்பதற்காக மைக்ரான் - நிலை எலக்ட்ரோடு வடிவங்களை துல்லியமாக நிரப்ப முடியும்.
(3) சூழல் மற்றும் பொருள் தேர்வுமுறை
மந்த வாயு பாதுகாப்பு: இண்டியம் ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கிறது (குறிப்பாக உயர் - வெப்பநிலை செயல்முறைகளில்).
அடி மூலக்கூறு முன்கூட்டியே சிகிச்சை: மேற்பரப்பு ஆற்றலை அதிகரிக்கவும், பிளாஸ்மா சுத்தம் அல்லது வேதியியல் செயல்படுத்தல் மூலம் இண்டியம் லேயரின் ஒட்டுதலை மேம்படுத்தவும்.
3. வழக்கமான பயன்பாட்டு காட்சிகள்
ஒளிமின்னழுத்த தொழில்: ஒளிமின்னழுத்த மாற்ற செயல்திறனை மேம்படுத்த HJT பேட்டரி எலக்ட்ரோடு இண்டியம் பூச்சு.
செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங்: குறைந்த - வெப்பநிலை குறைபாடு - சிப் இன்டர்நெக்னெக்ட் பேட்களின் இலவச இண்டியம் முலாம்.
விண்வெளி: உயர் - நம்பகத்தன்மை செயற்கைக்கோள் வெப்ப இடைமுகப் பொருட்களுக்கு (டிம்) இண்டியம் முலாம் பயன்படுத்தப்படுகிறது.