Ultraääniruiskutus, joka tunnetaan myös nimellä ultraääniruiskutus, on ruiskutusprosessi, joka käyttää ultraäänimuotoista tekniikkaa. Suihkutettu materiaali on ensin nestemäisessä tilassa. Neste voi olla liuos, solu, suspensio jne. Nestemäinen maali sumuttuu ensin hienoiksi hiukkasiksi ultraäänimuotoilulaitteen kautta, ja sitten se on tasaisesti päällystetty substraatin pinnalla tietyn määrän kantokaasua. , muodostaen siten päällysteen tai elokuvan. Suurin ero ultraääniruiskumisen ja perinteisen yhden - nesteen tai kahden - nesteen suihkuttamisen välillä on, että sumuistava laite tai suuttimen summittava käyttäminen käyttää ultraäänimuotoista laitetta, toisin sanoen ultraäänipuutin.
Verrattuna perinteiseen kahteen - nesteen ruiskutukseen, ultraääniruiskutuksella on korkea pinnoitteen tasaisuus, korkea raaka -aineiden käyttö, korkea pinnoitteen paksuudenhallintatarkkuus, ohuempi pinnoitteen paksuus, vähemmän roiske, ei suuttimen tukkeutumista ja alhaisia huoltokustannuksia. Verrattuna pinnoitusprosesseihin, kuten tyhjiön haihtuminen ja CVD, ultraääniruiskutus on taloudellisempi ohuen kalvon pinnoitusprosessi. Erityisesti suurempien - Alue -ohutkalvojen valmistelussa ultraääniruiskutuksen laitteet ovat alhaisemmat kuin tyhjöpäällystelaitteiden.
Ultraääniruiskumisen tärkeimmät edut ovat:
1. Korkea pinnoitteen tasaisuus
Nestemäisen hiukkasten jakautumisen yhtenäisyys ultraäänisuuttimien atomoinnin jälkeen on huomattavasti korkeampi kuin kahden - nesteen suuttimella, joka tunnetaan yleisesti ilmahuihkupistooleina, joten myös päällysteen tasaisuus ultraäänisillä suuttimilla ruiskuttamisen jälkeen paranee. Normaalisti ultraääniruiskutuksen päällyste yhdenmukaisuus voi saavuttaa yli 95%.
2. Raaka -aineiden korkea käyttöaste ja vähemmän roiskuminen
Koska ultraääniruiskutus on nestemäistä sumuutusta ultraääni värähtelyn kautta, maalin sumistusprosessi ei vaadi kaasua, ts. Atomisointiprosessi ei vaadi painetta. Vain erittäin alhainen kantoaaltokaasun paine kohdistuu atomisoinnin jälkeen nesteen sumujen kuljettamiseksi. Siksi se vähentää huomattavasti toisen nesteen korkean - paine ilman suihkutuksen aiheuttamaa nestemäistä palautumista ja roiskeita, mikä parantaa huomattavasti maalin käyttöastetta. Raaka -aineiden ultraääniruiskutusnopeus on yli 4 kertaa tavallisen ilmansuihkutus, ja käyttöaste voi nousta jopa 90%: iin.
3. Korkea pinnoitteen paksuuden säätötarkkuus
Pinnoitteen paksuuden tarkkuuden pääasiallinen tekijä on päällysteen ruiskutusvirtaus, joka on substraattiin ladattujen materiaalien määrä yksikköä kohti. Ultraäänisuuttimella ei ole painevaikutusta nesteeseen, joten korkean - tarkkuusmittauspumpun avulla voidaan säätää kokonaan painevaikutusta, joten atomisoidun ruiskumaalin nesteen virtausnopeutta saavutetaan siten korkean - tarkkuuden ruiskuvirtauksen hallinta. Esimerkiksi korkean - tarkkuuden ruiskupumpun virtauksen säätötarkkuus voi saavuttaa pikolitres sekunnissa, ja ultraäänisuutteen mikro - Kanavan suunnittelu voi myös saavuttaa nanoliterien yleisen ohjaustarkkuuden sekunnissa.
4. Pinnoitteen paksuus on ohut, saavuttaen kymmeniä nanometrejä
Koska ultraäänisuutteen suihketilavuus voi saavuttaa erittäin alhaisen vakaan virtausnopeuden (0,001 ml/min), substraatilla voidaan saavuttaa erittäin pieni määrä kuormitusta, mikä saavuttaa erittäin ohut kuiva kalvo. Joidenkin nanomateriaalien kohdalla kuiva kalvon paksuus voi olla niin alhainen kuin kymmeniä nanometrejä. Sitä voidaan käyttää lasikalvojen, kuten läpinäkyvien johtavien kalvojen, anti - heijastuskalvojen, lämpöeristyskalvojen, hydrofiilisten ja hydrofobisten kalvojen valmistamiseen.
Viestin aika: tammikuu - 04 - 2024