Ultraskaņas izsmidzināšana, kas pazīstama arī kā ultraskaņas izsmidzināšana, ir izsmidzināšanas process, kurā tiek izmantota ultraskaņas atomizācijas tehnoloģija. Izsmidzināmais materiāls vispirms ir šķidrā stāvoklī. Šķidrums var būt šķīdums, sols, suspensija utt. Šķidruma krāsa vispirms tiek atomizēta smalkās daļiņās caur ultraskaņas atomizācijas ierīci, un pēc tam to vienmērīgi pārklāj uz pamatnes virsmas caur noteiktu nesējgāzes daudzumu. , tādējādi veidojot pārklājumu vai filmu. Lielākā atšķirība starp ultraskaņas izsmidzināšanu un tradicionālo atsevišķo - šķidrumu vai diviem - šķidruma izsmidzināšanu ir tā, ka atomizācijas ierīce vai atomizējošā sprausla izmanto ultraskaņas atomizācijas ierīci, tas ir, ultraskaņas sprauslu.
Salīdzinot ar tradicionālajiem diviem - šķidruma izsmidzināšanu, ultraskaņas izsmidzināšanai ir augstas pārklājuma vienveidības priekšrocības, augsta izejvielu izmantošana, augsta pārklājuma biezuma kontroles precizitāte, plānāks pārklājuma biezums, mazāks izšļakstīšana, bez sprauslas aizsērēšanas un zemas uzturēšanas izmaksas. Salīdzinot ar pārklājuma procesiem, piemēram, vakuuma iztvaikošanu un CVD, ultraskaņas izsmidzināšana ir ekonomiskāks plānas plēves pārklājuma process. Īpaši lielāku - laukuma plānu plēvju sagatavošanā ultraskaņas izsmidzināšanas aprīkojuma izmaksas ir zemākas nekā vakuuma pārklājuma aprīkojums.
Galvenās ultraskaņas izsmidzināšanas priekšrocības ir:
1. Augsta pārklājuma vienveidība
Šķidrās daļiņu sadalījuma vienveidība pēc atomizācijas ar ultraskaņas sprauslām ir ievērojami augstāka nekā divām - šķidruma sprauslām, ko parasti sauc par gaisa izsmidzināšanas pistolēm, tāpēc tiek uzlabota arī pārklājuma vienveidība pēc izsmidzināšanas ar ultraskaņas sprauslām. Parasti ultraskaņas izsmidzināšanas pārklājuma vienveidība var sasniegt vairāk nekā 95%.
2. Augsts izejvielu izmantošanas ātrums un mazāka izšļakstīšanās
Tā kā ultraskaņas izsmidzināšana ir šķidra atomizācija, izmantojot ultraskaņas svārstības, krāsas atomizēšanas procesam nav nepieciešama gāze, tas ir, atomizācijas procesam nav nepieciešams spiediens. Pēc atomizācijas, lai pārvadātu šķidruma miglu, tiek pielikts tikai ļoti zems nesējgāzes spiediens. Tāpēc tas ievērojami samazina šķidruma atsitienu un izšļakstīšanos, ko izraisa otrā šķidruma izsmidzināšana ar lielu - spiedienu, tādējādi ievērojami uzlabojot krāsas izmantošanas ātrumu. Ultraskaņas izsmidzināšanas izejvielu izmantošanas ātrums ir vairāk nekā 4 reizes lielāks nekā parastajai gaisa izsmidzināšanai, un izmantošanas ātrums var sasniegt vairāk nekā 90%.
3. Augsta pārklājuma biezuma kontroles precizitāte
Galvenais faktors, kas ietekmē pārklājuma biezuma precizitāti, ir pārklājuma izsmidzināšanas ātrums, kas ir materiāla daudzums, kas ielādēts uz pamatnes uz laiku. Ultraskaņas sprauslai nav spiediena ietekmes uz šķidrumu, tāpēc atomizētās smidzināšanas krāsas šķidruma plūsmas ātrumu var pilnībā kontrolēt ar augstu - Precīzijas mērīšanas sūkni, tādējādi sasniedzot augstu - Precīzijas smidzināšanas plūsmas kontroli. Piemēram, augstas - precizitātes šļirces sūkņa plūsmas kontroles precizitāte var sasniegt pikolitru līmeni sekundē, un ultraskaņas sprauslas mikro - kanāla dizains var sasniegt arī vispārējo nanoliteru kontroles precizitāti sekundē.
4. pārklājuma biezums ir plāns, sasniedzot desmitus nanometru
Tā kā ultraskaņas sprauslas smidzināšanas tilpums var sasniegt ārkārtīgi zemu stabilu plūsmas ātrumu (0,001 ml/min), substrātā var sasniegt ļoti nelielu daudzumu iekraušanas, tādējādi sasniedzot ļoti plānu sausu plēvi. Dažiem nanomateriāliem sausās plēves biezums var būt tikpat zems kā desmitiem nanometru. To var izmantot, lai sagatavotu stikla plēves, piemēram, caurspīdīgas vadošas plēves, anti - refleksijas plēves, termiskās izolācijas plēves, hidrofilās un hidrofobiskās plēves.
Pasta laiks: Jan - 04 - 2024